[发明专利]刻蚀设备

摘要

本发明提供一种刻蚀设备，包括密封罩、承载板以及多个排气结构，承载板位于密封罩内，多个排气结构环绕承载板设置，每一个排气结构包括排气管道和抽气泵，排气管道包括进气口和出气口，进气口与密封罩连通，出气口与抽气泵连通，排气管道的管壁上设置有多个进气孔，进气孔的气流方向与排气管道的管壁垂直，抽气泵产生的气流方向与排气管道的管壁平行。本发明提出的刻蚀设备的排气管道的管壁上设置有多个进气孔，进气孔中的气流在抽气泵产生的气流的作用下会偏离排气管道的管壁并朝向出气口，从而使得刻蚀制程中产生的微粒不容易沉积在排气管道的管壁上，优化刻蚀环境、提升刻蚀制程的良率、延长设备的维护周期。