[发明专利]基板处理方法

摘要

本发明提供一种基板处理方法，处理涂覆有定向自组装材料的基板，该基板处理方法具备加热工序和冷却工序。加热工序将处理容器内保持为非氧化性气体环境，并且使基板位于加热位置，从而加热基板以使定向自组装材料相分离。冷却工序将处理容器内保持为非氧化性气体环境，使基板位于与加热位置相比离加热部远的处理容器内的冷却位置，向处理容器内供给非氧化性气体，并且排出处理容器内的气体，从而冷却基板。

主权项

1.一种基板处理方法，处理涂覆有定向自组装材料的基板，其中，该基板处理方法包括：加热工序，将处理容器的内部保持为非氧化性气体环境，并且使基板位于与所述处理容器的内部的加热部接触或接近的加热位置，从而加热基板，使定向自组装材料相分离；以及冷却工序，将所述处理容器的内部保持为非氧化性气体环境，使基板位于与所述加热位置相比距所述加热部远的冷却位置，向所述处理容器的内部供给非氧化性气体，并排出所述处理容器的内部的气体，从而冷却基板。