[发明专利]用于激光剥离制程的面板防护盖板及面板防护装置有效
| 申请号： | 201810096757.3 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN108336248B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 袁朝煜 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 44304 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙伟峰;阳志全<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于激光剥离制程的面板防护装置及面板防护盖板，面板防护盖板包括支撑基板和设于所述支撑基板上表面的微孔吸附层，所述微孔吸附层包括内部的真空通道和第一端面阵列设置的微孔，所述真空通道与相应的所述微孔连通以在真空吸力下通过所述微孔接触并吸附待玻璃的面板端部。本发明通过真空装置与面板防护盖板内的真空通道连通，可以使得微孔吸附层端面的微孔与激光剥离制程的面板吸附在一起，从而使得面板防护盖板与面板形成紧密贴合而阻挡在芯片绑定端正上方，彻底阻断了激光在面板边缘的泄露路径，很好地保护了COF和COP等的芯片绑定端。 | ||
| 搜索关键词： | 防护盖板 微孔 微孔吸附层 激光剥离 真空通道 制程 防护装置 支撑基板 绑定 吸附 连通 芯片 紧密贴合 面板边缘 面板端部 真空吸力 真空装置 阵列设置 上表面 泄露 激光 阻挡 玻璃 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光剥离制程的面板防护盖板，其特征在于，包括支撑基板(10)和设于所述支撑基板(10)上表面的微孔吸附层(20)，所述微孔吸附层(20)包括内部的真空通道(210)和第一端面阵列设置的微孔(220)，所述真空通道(210)与相应的所述微孔(220)连通以在真空吸力下通过所述微孔(220)接触并吸附待剥离的面板端部；所述微孔吸附层(20)包括通道层(21)、贴附于所述通道层(21)一端的吸附膜(22)和激光反射层(23)，所述真空通道(210)形成于所述通道层(21)内，所述微孔(220)贯穿所述吸附膜(22)，所述激光反射层(23)覆盖于所述吸附膜(22)上表面。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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