[发明专利]一种精细金属掩膜板及其制备方法、掩膜集成框架有效
| 申请号： | 201810099588.9 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN108251796B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 张斌;王新星;周婷婷;孙雪菲;王伟杰;朱海彬 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种精细金属掩膜板及其制备方法、掩膜集成框架，涉及掩膜蒸镀技术领域，能够解决现有的掩膜板在掩膜蒸镀工艺中，掩膜板上产生的褶皱使形成膜层的图案边缘出现偏差的问题。在精细金属掩膜板上设置有掩膜图案区域，精细金属掩膜板还包含沿掩膜图案区域的至少一侧边缘、且与该边缘相接的保护区域，保护区域的厚度小于掩膜图案区域的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精细 金属 掩膜板 及其 制备 方法 集成 框架 | ||
【主权项】：
1.一种精细金属掩膜板，在所述精细金属掩膜板上设置有掩膜图案区域，其特征在于，所述精细金属掩膜板还包含沿所述掩膜图案区域的至少一侧边缘、且与该边缘相接的保护区域，所述保护区域的厚度小于所述掩膜图案区域的厚度。
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