[发明专利]一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法及装置有效
| 申请号： | 201810100484.5 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN110108401B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 李冰;辛田 | 申请（专利权）人： | 上海信及光子集成技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张东梅;林高锋 |
| 地址： | 200437 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法和装置。硅波导内应力的各向异性会造成不同方向上的折射率不同，通过测量偏振光经过硅波导之后的偏振旋转量能够获得硅片内的应力信息。方法包括两部分，第一步测定待测器件的快慢轴方向，第二步测量待测器件出射光的偏振旋转角度，计算内应力。通过测量相邻的最小偏振旋转对应的输入偏振角度的平均值得到快慢轴方向。测得的快慢轴方向和偏振旋转角度作为应力计算的输入，应力计算步骤由程序自动完成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通过 偏振 旋转 测量 获得 波导 内应力 信息 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法，包括：步骤101，测定待测器件的快慢轴方向；步骤102，测量待测器件出射光的偏振旋转角度，计算内应力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海信及光子集成技术有限公司，未经上海信及光子集成技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810100484.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
