[发明专利]位移检测器有效
| 申请号： | 201810101501.7 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN108387167B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 川床修;松下昌辉 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邸万奎 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 位移检测器被配置为由布置在检测头中的接收电极接收从发送信号输出单元输出的发送信号，以基于所接收的信号来检测检测头和标尺之间的位移。发送信号从布置在检测头中的发送电极通过布置在标尺中的耦合电极发送到接收电极。相位调整单元从发送信号输出单元输出的发送信号产生其相位被调整的信号。振幅调整单元调整由相位调整单元调整其相位的信号的振幅以产生串扰校正信号。解调单元对通过合成串扰校正信号和所接收的信号而产生的信号进行采样并且以解调采样的信号。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 检测器 | ||
【主权项】：
1.一种位移检测器，所述位移检测器为电容式位移检测器，被配置为通过布置在检测头中的接收电极接收从发送信号输出单元输出的发送信号，以基于所接收的信号检测所述检测头和标尺之间的位移，所述发送信号从布置在所述检测头中的发送电极通过布置在所述标尺中的耦合电极发送到所述接收电极，所述位移检测器包括：相位调整单元，被配置为生成其相位从所述发送信号输出单元输出的发送信号被调整的信号；振幅调整单元，被配置为调整其相位被相位调整单元调整的信号的振幅以产生串扰校正信号；以及解调单元，被配置为对通过合成所述串扰校正信号和所接收的信号而产生的信号进行采样，并被配置为解调所采样的信号。
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