[发明专利]滤波器在审
| 申请号： | 201810103627.8 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN108173528A | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 周冲;周文喜 | 申请（专利权）人： | 湖北宙讯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H7/075 | 分类号： | H03H7/075 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡 |
| 地址： | 431900 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种滤波器。该滤波器包括至少一个串联谐振器和至少两个并联谐振器，并联谐振器或串联谐振器包括：质量负载层，其中，质量负载层的密度可调。通过本发明，达到了并联谐振器只需要一层质量负载层就可以调节滤波器中谐振器的谐振频率的效果。 1 | ||
| 搜索关键词： | 滤波器 并联谐振器 质量负载层 串联谐振器 谐振频率 谐振器 可调 | ||
【主权项】：
1.一种滤波器，包括至少一个串联谐振器和至少两个并联谐振器，其特征在于，所述并联谐振器或所述串联谐振器包括：
质量负载层，其中，所述质量负载层的密度可调。
2.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述滤波器包括第一并联谐振器和第二并联谐振器，所述第二并联谐振器的质量负载层的密度大于所述第一并联谐振器的质量负载层的密度，其中，所述质量负载层的密度＝谐振器有效区域上质量负载面积/谐振器有效区域总面积。3.根据权利要求2所述的滤波器，其特征在于，所述质量负载层由图形密度可调的图案组成。4.根据权利要求3所述的滤波器，其特征在于，所述质量负载层由等间距的条纹组成。5.根据权利要求4所述的滤波器，其特征在于，所述第二并联谐振器的条纹的占空比大于所述第一并联谐振器的条纹的占空比。6.根据权利要求3所述的滤波器，其特征在于，所述质量负载层由网格组成。7.根据权利要求6所述的滤波器，其特征在于，所述第二并联谐振器的质量负载层网格的密度大于所述第一并联谐振器的质量负载层网格的密度。8.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述并联谐振器还包括：第一电极；
压电层，所述压电层位于所述第一电极与第二电极之间；
第二电极，其中，所述质量负载层位于所述第二电极之上。
9.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述并联谐振器还包括：衬底；
在所述衬底上沉积形成的声学反射镜。
10.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述并联谐振器还包括：衬底；
在所述衬底上刻蚀形成的空腔。
11.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述串联谐振器和所述并联谐振器为薄膜体声波谐振器、或者固态装配谐振器。12.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述滤波器还包括：电感，与所述并联谐振器相连接。
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