[发明专利]一种新型变色防隐裂太阳能电池保护涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201810104365.7 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN108330457B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 鞠振河;郭睿;张东 | 申请（专利权）人： | 辽宁太阳能研究应用有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/06 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 许宇来 |
| 地址： | 110136 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种新型变色防隐裂太阳能电池保护涂层的制备方法属于太阳能电池保护涂层的制造技术领域，尤其涉及一种新型变色防隐裂太阳能电池保护涂层的制备。本发明提供一种新型变色防隐裂太阳能电池保护涂层的制备方法。本发明包括以下步骤：1）将Si基太阳能电池基片用离子水超声波清洗后，吹干送入磁控溅射反应室，在真空的条件下，向反应室通入氩气和氧气作为混合气体反应源，对电池基片进行加热；在电池基片背面沉积制备AZO透明导电电极；2）向磁控溅射反应室通入氮气作为气体反应源，对电池基片进行加热；在蒸镀AZO透明导电电极的电池基片上继续沉积制备TiSiN薄膜作为抗腐蚀保护涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 变色 防隐裂 太阳能电池 保护 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种新型变色防隐裂太阳能电池保护涂层的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1）将Si基太阳能电池基片用离子水超声波清洗后，吹干送入磁控溅射反应室，在真空的条件下，向反应室通入氩气和氧气作为混合气体反应源，对电池基片进行加热；在电池基片背面沉积制备AZO透明导电电极；2）向磁控溅射反应室通入氮气作为气体反应源，对电池基片进行加热；在蒸镀AZO透明导电电极的电池基片上继续沉积制备TiSiN薄膜作为抗腐蚀保护涂层；3）将磁控溅射反应室抽真空，将蒸镀完毕AZO透明导电电极和TiSiN薄膜的电池基片翻过来，向磁控溅射反应室通入氩气和氧气作为混合气体反应源，对电池基片进行加热；在电池基片正面沉积制备AZO透明导电电极；4）将磁控溅射反应室抽真空，向磁控溅射反应室通入氩气作为混合气体反应源，对电池基片进行加热；在电池基片正面沉积制备AZO透明导电电极之后继续沉积制备MgF2变色材料；5）向磁控溅射反应室中通入氮气作为气体反应源，对电池基片进行加热；继续制备TiSiN抗腐蚀保护涂层。
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