[发明专利]一种氢气回收提纯系统及其控制方法在审
申请号: | 201810107553.5 | 申请日: | 2018-02-02 |
公开(公告)号: | CN108100994A | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 吴海雷;马传龙 | 申请(专利权)人: | 吴海雷;马传龙 |
主分类号: | C01B3/50 | 分类号: | C01B3/50;B01D53/22;B01D53/26 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 100022 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及化工领域,具体公开了一种氢气回收纯化系统及其控制方法,该系统包括依次连接的尾气处理器、除水装置、压缩机、第一缓冲罐、第一气体分离膜组、第一储氢装置以及第二缓冲罐,工业设备的尾气排放口和进气口分别与尾气处理器和第二缓冲罐连接,压缩机将气体压缩至压力不小于5bar,第一气体分离膜组的膜材料由陶瓷材料制成,第一储氢装置的储氢材料为金属合金类储氢材料。本发明通过尾气处理器对氢气初步提纯,通过陶瓷材料制成的分离膜,可以使氢气浓度进一步提纯到99%以上,通过合金类的储氢材料将氢气浓度提高到5N级,解决了现有技术中非泛半导体行业中的氢气回收循环装置不适合泛半导体行业的氢气回收循环问题。 | ||
搜索关键词: | 氢气回收 尾气处理器 储氢材料 氢气 缓冲罐 半导体行业 气体分离膜 储氢装置 陶瓷材料 压缩机 提纯 进气口 尾气排放口 除水装置 纯化系统 工业设备 化工领域 金属合金 气体压缩 提纯系统 循环问题 循环装置 依次连接 分离膜 膜材料 合金 | ||
【主权项】:
1.一种氢气回收纯化系统,其特征在于,包括:尾气处理器(1),其进气口与工业设备(100)的尾气排放口连接;除水装置(2),其与所述尾气处理器(1)的排气口连接,用于对气体进行干燥;压缩机(6),其输入端与所述除水装置(2)连接,所述压缩机(6)将气体压缩至压力大于等于5bar;第一缓冲罐(7),其与所述压缩机(6)的输出端连接;第一气体分离膜组(8),其进气口与第一缓冲罐(7)连接,所述第一气体分离膜组(8)上设有第一杂质气排气口(81),所述第一气体分离膜组(8)的膜材料由陶瓷材料制成;第一储氢装置(9),其与所述第一气体分离膜组(8)的排气口连接,所述第一储氢装置(9)的储氢材料为金属合金,所述第一储氢装置(9)上设有第四杂质气排气口(91);第二缓冲罐(12),其一端与所述第一储氢装置(9)连接,另一端与所述工业设备(100)的进气口连接。
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