[发明专利]一种激光器中心波长测量的温漂反馈方法及装置

摘要

本发明提出一种激光器中心波长测量的温漂反馈方法及装置，使用参考激光器对FP标准因为温度压力等变化引起的漂移进行实施反馈，解决了FP标准具测量激光器中心波长的漂移问题，提高了激光器中心波长的精度和稳定度。

主权项

1.一种激光器中心波长测量的温漂反馈装置，其特征在于，包括第一匀光片、第一光阑、第一分束镜、参考激光器、第二匀光片、第二光阑、准直透镜、FP标准具、会聚镜、第二分束镜、第一反射镜、第二反射镜以及成像单元，待测激光器发出的待测激光部分进入所述第一匀光片，所述待测激光经过匀化后经过所述第一光阑后照射在所述第一分束镜上，经过所述第一分束镜反射的所述待测激光经过所述准直透镜后进入所述FP标准具，所述FP标准具充有恒压气体，所述待测激光经过所述FP标准具内部多次反射后射出，由所述FP标准具射出的所述待测激光照射在所述会聚镜上，经过会聚后的所述待测激光透过所述第二分束镜，经过所述第一反射镜和所述第二反射镜的反射后进入所述成像单元得到第一干涉条纹成像；由所述参考激光器发出的参考激光依次经过所述第二匀光片、所述第二光阑后照射在所述第一分束镜，所述参考激光经过所述第一分束镜透射后经由所述准直透镜准直后进入所述FP标准具，所述参考激光经过所述FP标准具内部多次反射后射出照射在所述会聚镜上，经过会聚后的所述参考激光透过所述第二分束镜，经过所述第一反射镜和所述第二反射镜的反射后进入所述成像单元得到第二干涉条纹成像，利用所述第二干涉条纹成像作为基准对所述第一干涉条纹成像进行温度漂移补偿反馈。