[发明专利]倾斜波面干涉测量非球面中的参数确定方法

摘要

本发明属于光学精密测试领域，具体涉及一种倾斜波面干涉测量非球面中的参数确定方法。包括如下步骤：首先根据给定的非球面方程和口径，按角度等间隔划分非球面；然后设定入射球面波的中心，利用公式计算球面波的中心对于每个节点的镜像点；然后以镜像点向对应的节点坐标位置发射光线构成反射波面，根据计算出的反射波面与参考球面波之间的相位差的分布，判断出可测量干涉条纹的分布范围，移动球面波中心的位置，重复前述过程，直到整个非球面的范围都能够被测量，即确定了所有球面波源的位置，完成了点源阵列的设计。本方法的步骤清晰、计算准确、适用范围广，使用计算机程序可以快速完成设计，计算的过程中无须采用近似估计，计算结果准确。

主权项

1.倾斜波面干涉测量非球面中的参数确定方法，其特征在于：包括如下步骤：（1）根据待测的非球面方程和口径，按角度等间隔划分非球面，计算每个节点对应位置的单位切向矢量和单位法向矢量；（2）设定入射球面波的中心，根据步骤（1）中计算得到的每个节点处的单位切向矢量和单位法向矢量，利用公式计算球面波的中心对于每个节点的镜像点；（3）以步骤（2）得到的镜像点坐标分别作为点光源，向对应的节点坐标位置发射光线构成反射波面，根据设计指标要求及计算出的反射波面与参考球面波之间的相位差的分布，判断出可测量干涉条纹的分布范围；（4）移动球面波中心的位置，重复步骤（2）至步骤（3）的过程，直到整个非球面的范围都能够被测量，即确定了所有球面波源的位置，完成了点源阵列的设计。