[发明专利]一种高纯球形钌粉的制备方法在审
| 申请号： | 201810108737.3 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN108405881A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 董海刚;赵家春;崔浩;杨海琼;李艳琼;吴跃东;保思敏;王亚雄;童伟锋;吴晓峰 | 申请（专利权）人： | 贵研铂业股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F9/26 | 分类号： | B22F9/26;B22F1/00 |
| 代理公司： | 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 | 代理人： | 赛晓刚 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市五华区高*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高纯球形钌粉的制备方法，其步骤包括：(1)溶解：用盐酸溶解，获得氯钌酸溶液；(2)离子交换净化除杂，获得纯净钌溶液；(3)前驱体制备：调整步骤(2)所得钌溶液的初始pH值，加入沉淀引发剂，陈化，加热搅拌，生成钌粉前驱体——球形水合氧化钌；(4)煅烧脱水‑氢气还原：将步骤(3)所得前驱体置于管式炉中先进行煅烧脱水，再通入氢气进行高温还原，获得球形金属钌粉；(5)混酸煮洗过滤分离，用去离子水充分洗涤，真空干燥后，获得高纯球形钌粉。本发明方法工艺简单，制备的钌粉中杂质含量小于10ppm，钌粉微观形貌为球形，粒度小于5μm，可作为钌系溅射靶材的原料。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯 制备 煅烧脱水 前驱体 钌溶液 离子交换净化 沉淀引发剂 水合氧化钌 调整步骤 高温还原 加热搅拌 溅射靶材 前驱体制 氢气还原 球形金属 去离子水 微观形貌 盐酸溶解 氢气 管式炉 氯钌酸 陈化 除杂 混酸 煮洗 钌系 洗涤 溶解 | ||
【主权项】：
1.一种高纯球形钌粉的制备方法，其特征在于按以下步骤完成：(1)溶解：将固体三氯化钌用盐酸溶解，获得氯钌酸溶液；(2)离子交换净化除杂：将步骤(1)所得钌溶液采用阳离子交换树脂进行除杂，获得纯净钌溶液；(3)前驱体制备：调整步骤(2)所得钌溶液的初始pH值，加入沉淀引发剂，陈化，加热搅拌，使其发生水解沉淀反应，生成钌粉前驱体——球形水合氧化钌；(4)煅烧脱水‑氢气还原：将步骤(3)所得前驱体置于管式炉中先进行煅烧，再通入氢气进行高温还原，获得球形金属钌粉；(5)混酸煮洗：将步骤(4)所得钌粉采用王水+氢氟酸混合溶液煮洗，过滤分离，用去离子水充分洗涤，真空干燥后，获得高纯球形钌粉。
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