[发明专利]一种柔性石墨烯等离激元器件及其制备方法

摘要

本发明提供了一种柔性石墨烯等离激元器件，包括：自下而上依次设置的柔性衬底、石墨烯层、源极与漏极金属层以及电介质层，石墨烯层覆盖于柔性衬底上，源极与漏极金属层沉积在石墨烯层上，源极与漏极金属层由石墨烯导通；所述石墨烯层与源极与漏极金属层之间夹着电介质层，构成类似平行板电容器结构；源极与漏极金属层之间的石墨烯层的局部区域具有周期性微纳米结构；本发明的柔性石墨烯等离激元器件具有柔性功能，在柔性弯曲作用下，具有很好的等离激元稳定性能。另外，本发明的柔性石墨烯等离激元器件具有良好的耐用性能。

主权项

1.一种柔性石墨烯等离激元器件，包括：自下而上依次设置的柔性衬底、石墨烯层、源极与漏极金属层，以及电介质层，所述石墨烯层覆盖于所述柔性衬底上，所述源极与漏极金属层沉积在石墨烯层上，源极与漏极金属层由石墨烯导通；所述电介质层位于石墨烯层的上方，所述石墨烯层与源极与漏极金属层之间夹着电介质层，构成类似平行板电容器结构；所述源极与漏极金属层之间的石墨烯层的局部区域具有周期性微纳米结构。