[发明专利]一种光辐照悬空电容的装置和方法有效
| 申请号： | 201810115440.X | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN108107568B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 孙国柱;戴欣;李永超;江俊良;潘佳政;吴培亨 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 杨林洁 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光辐照悬空电容的装置，包括：用于承载悬空电容样品的无氧铜腔体；用于承载所述无氧铜腔体的支撑装置；光纤移动装置；其中，所述无氧铜腔体固定在支撑装置上，无氧铜腔体内部安放悬空电容样品；所述支撑装置固定在CCD平台的基座上；所述光纤移动装置固定在CCD平台的移动平台上，且位于无氧铜腔体的下方。本发明还公开了一种光辐照悬空电容的方法。本发明很方便地实现了将平行光束对准微尺度的悬空电容。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辐照 悬空 电容 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光辐照悬空电容装置，其特征在于，包括：用于承载悬空电容样品(402)的无氧铜腔体(308)；用于承载所述无氧铜腔体(308)的支撑装置(309)；光纤移动装置(310)；其中，所述无氧铜腔体(308)固定在支撑装置(309)上，无氧铜腔体(308)的内部安放悬空电容样品(402)；所述支撑装置(309)固定在CCD平台的基座上；所述光纤移动装置(310)固定在CCD平台的移动平台上，且位于无氧铜腔体(308)的下方。
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