[发明专利]一种减薄装置及减薄方法有效

专利信息
申请号: 201810117796.7 申请日: 2018-02-06
公开(公告)号: CN108227257B 公开(公告)日: 2021-01-26
发明(设计)人: 田维 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 刘悦晗;陈源
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种减薄装置及减薄方法,利用承载装置固定显示面板,利用高度调节装置调节显示面板与液体仓内侵蚀液之间的距离,通过使显示面板的第一基板分阶段与侵蚀液接触,逐步减薄第一基板,其中,在第一减薄阶段实现初步减薄,在第二减薄阶段实现快速减薄,在第三减薄阶段实现微减薄,这样第一基板上的缺陷不会过早被侵蚀液完全侵蚀,从而避免缺陷放大,相应的,无需额外进行抛光工序即可消除显示面板表面的凹点、划伤等不良,简化显示面板减薄工序,而且能够避免抛光工序产生的碎屑问题,从而增加产品良率,提高显示效果。
搜索关键词: 一种 装置 方法
【主权项】:
1.一种减薄装置,其特征在于,包括:高度调节装置、刻蚀速率调节单元、用于固定显示面板的承载装置和用于盛放侵蚀液的液体仓,所述承载装置位于所述液体仓内,并通过所述高度调节装置与所述液体仓的顶盖连接;所述高度调节装置用于,调节所述承载装置与所述侵蚀液的液面之间的距离,用以在第一减薄阶段使所述显示面板的第一基板部分浸没于所述侵蚀液,以被减薄第一厚度,以及,用以在第二减薄阶段使所述显示面板的第一基板部分浸没于所述侵蚀液,以被减薄第二厚度,以及,用以在第三减薄阶段使所述显示面板的第一基板部分浸没于所述侵蚀液,以被减薄第三厚度;所述刻蚀速率调节单元与所述液体仓相连,用于调节所述液体仓内所述侵蚀液的浓度和流速,以使第二减薄阶段的侵蚀速率大于第一减薄阶段和第三减薄阶段的侵蚀速率。
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