[发明专利]一种高压电极以及应用该高压电极的多晶硅破碎装置

摘要

本发明公开了一种高压电极以及应用该高压电极的多晶硅破碎装置，高压电极包括有高压电极本体，高压电极本体安装于导流罩中；导流罩具有电极安装槽和导流通道；多晶硅破碎装置，包括有破碎水槽、多晶硅棒支撑架、接地电极、高压电极、电源、导流管线和超纯水补充管线。本发明的高压电极设有导流通道，能够及时将高压电极本体溶解产生的局部高浓度金属液体导出破碎水槽外，避免金属杂质对多晶硅造成污染；破碎水槽内壁衬有陶瓷材料，可隔绝液体与水槽腔体的接触，避免水槽腔体对液体的污染，还可避免多晶硅碎块与破碎水槽接触造成污染。通过本发明的高压电极以及多晶硅破碎装置，可以实现多晶硅棒的无污染、高效率破碎。

主权项

1.一种高压电极，包括有高压电极本体，其特征在于：高压电极本体安装于导流罩中，高压电极本体的高压电极接头从导流罩顶端伸出；导流罩采用绝缘材料制成，其内部具有用于安装高压电极本体的电极安装槽，而导流罩的侧壁中设有用于导出局部高浓度金属液体的导流通道，导流通道贯通导流罩的侧壁上下端；导流罩通过导流通道将高压电极本体溶解产生的局部高浓度金属液体及时排出，以避免高压电极本体溶解产生的金属杂质对多晶硅的污染。