[发明专利]一种用于物理气相沉淀设备的压环装置

摘要

本发明公开了一种用于物理气相沉淀设备的压环装置，包括环形本体，所述环形本体的顶端连接有固定圆台，所述固定圆台与所述环形本体相连通，且所述固定圆台的底部设有若干环形设置的卡槽，且相邻两个所述卡槽之间围成的面积相等，所述环形本体的内环边缘位置固定连接有伸出板。有益效果：通过在所述环形本体的内环上增加部件，包括若干所述伸出板和若干所述凸出台，工作时，所述环形本体仅有所述凸出台与晶圆相接触，减少了压环装置和晶圆的接触面积。通过在所述环形本体上设置的所述紧锁盘，可以利用所述调节手轮的旋转，使所述环形本体上的所述条形板与所述凹槽相对滑动，可以调节所述环形本体的直径，可以适应不同晶圆的尺寸。

主权项

1.一种用于物理气相沉淀设备的压环装置，其特征在于，包括环形本体（1），所述环形本体（1）的顶端连接有固定台（4），所述固定台（4）与所述环形本体（1）相连通，且所述固定台（4）的底部设有若干环形设置的凹槽（8），且相邻两个所述凹槽（8）之间围成的面积相等，所述环形本体（1）的内环边缘位置固定连接有伸出板（5），所述伸出板（5）的个数为四个，相邻两个所述伸出板（5）之间形成的弧长相等，且两个相邻所述伸出板（5）之间均设有凸出台（7），其中，所述凸出台（7）和所述伸出板（5）均与所述环形本体（1）的平面平行，所述凸出台（7）的形状为梯形结构，所述环形本体（1）上环设有若干通孔（2），所述通孔（2）贯穿所述环形本体（1）的侧壁，所述环形本体（1）的外围设有环形设置的卡槽（3），所述卡槽（3）内设有与其相匹配设置的紧锁盘（10），所述紧锁盘（10）上设有若干定位紧锁孔（11），所述定位紧锁孔（11）与所述通孔（2）相通，所述定位紧锁孔（11）通过定位销（12）相配合，且所述定位销（12）的一端开设有螺纹孔（13），所述螺纹孔（13）配合有螺栓（14），所述螺栓（14）的一端插入到所述螺纹孔（13）内部，所述螺栓（14）的另一端固定在调节手轮（15）上，且所述螺栓（14）上设有刻度尺（17）。