[发明专利]基于光场探测器的偏振移相动态干涉仪

摘要

本发明公开了一种基于光场探测器的偏振移相动态干涉仪，其针对现有技术中微米级尺度偏振编码板制作难度大成本高的问题，提出的光场偏振移相动态干涉仪方案偏振码板尺度可以放松到毫米量级，要求降低2‑3个数量级，且不需要制造阵列结构的偏振片码板，难度大大降低。针对现有循环编码偏振码板技术需要与探测器像元严格对准匹配，耦合难度大的问题，本发明采用的光场偏振移相动态干涉仪方案对偏振片与探测对应配准没有要求，更容易实现高精度的偏振移相探测。

主权项

1.一种基于光场探测器的偏振移相动态干涉仪，其特征在于，包括：激光器、半波片、空间滤波器、偏振分光棱镜、第一至第三1/4波片、标准透镜、参考反射镜、被测镜、成像镜、旋转漫散片、以及微透镜型光场探测器；其中：激光器发出的激光经过半波片与空间滤波器滤波，进入偏振分光棱镜被分为偏振方向互相垂直的两束，一束作为干涉仪的参考光，一束作为测量光；测量光与参考光分别对应经过光轴方向为45°的第一与第二1/4波片后变换为方向相反的圆偏振光，测量光再经过标准透镜被被测镜面反射后原路返回，返回途中被第一1/4波片重新变为线偏振光进入偏振分光棱镜；参考光则被参考反射镜反射后原路返回，返回途中被第二1/4波片重新变为线偏振光进入偏振分光棱镜；这样两束光在偏振分光棱镜分光膜处完全合束，再经过第三1/4波片，变换为旋向相反的圆偏振光，经成像镜后在旋转漫散片上重合强度叠加，最终被微透镜型光场探测器探测。