[发明专利]一种基于加工刀具的复合涂层制备工艺

摘要

本发明公开一种基于加工刀具的复合涂层制备工艺，将加工刀具进行预处理后吹干，将其放入金刚石沉积炉中，炉内抽真空，调节CH4、H2气流速率比以及炉内压力，并加热热丝，调节加工刀具表面温度，沉积后形成金刚石涂层；再次调节炉内压力并通入Ar，Ar气流速率逐渐递增，维持金刚石沉积炉内一定压力，并维持反应一定时间。本发明公开的复合涂层制备工艺，不但能保证原有金刚石涂层刀具的表面硬度以及耐磨性，同时由于超纳米金刚石涂层表面平整光滑，用其加工磨具后模具表面光洁度较好。

主权项

1.一种基于加工刀具的复合涂层制备工艺，其特征在于，包括加工刀具内部CVD金刚石涂层加工和CVD金刚石涂层外表面超纳米金刚石涂层加工；其中，加工刀具内部CVD金刚石涂层加工包括以下步骤：步骤11：将加工刀具依次进行清洗前处理以及脱钴预处理，并将脱钴预处理后的加工刀具清洗后吹干待用；步骤12：将步骤11中待用的加工刀具放入CVD金刚石沉积炉中，然后将CVD金刚石沉积炉抽真空，炉内压力不得高于10pa，再按照CH4、H2气流速率比1∶100～300通入CH4、H2的混合气体，炉内压力控制在‑100～‑90KPa，加热热丝，以调节加工刀具的表面温度为600～1000℃，沉积6～10h，加工刀具表面形成金刚石涂层；CVD金刚石涂层外表面超纳米金刚石涂层加工包括以下步骤：步骤21：调节CVD金刚石沉积炉内压力为‑100.9～‑100.3KPa，保持CH4、H2气流速率比不变，再在CVD金刚石沉积炉内通入Ar，Ar气流速率逐渐递增，直至CH4、H2、Ar的气流速率比1∶100～300∶100～300，维持CVD金刚石沉积炉内压力为‑100.9～‑100.3KPa，控制加工刀具表面的温度为400～800℃，并维持反应时间2～3h。