[发明专利]压电石英基片生产工艺有效
申请号: | 201810127868.6 | 申请日: | 2018-02-08 |
公开(公告)号: | CN108346737B | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 周朱华;王祖勇 | 申请(专利权)人: | 嘉兴晶控电子有限公司 |
主分类号: | H01L41/335 | 分类号: | H01L41/335 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 吴宏宇 |
地址: | 314000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了压电石英基片生产工艺,包括以下工艺步骤,1)粘料;2)改圆;3)化料;4)清洗;5)研磨:研磨用模具包括底模和上模,上模用于固定圆形基片,底模中心固定有转动轴,以该转动轴为圆心在底模上设置同心的内圈、外圈、中间圈,内圈和外圈的屈光度相同,中间圈的屈光度和内圈屈光度不同,在转动轴转动时,圆形基片由上模压在底模上,上模自转同时沿外圈半径方向直线运动;6)对步骤5)处理后的圆形基片进行清洗、脱水处理;7)对步骤6)处理后的圆形基片在分频机进行分频,分频完成后作清洗、脱水处理;8)腐蚀。在研磨时,采用具有两种屈光度的底模,可使得基片在一次研磨过程中磨制出两种屈光度,生产效率高。 | ||
搜索关键词: | 压电 石英 生产工艺 | ||
【主权项】:
1.压电石英基片生产工艺,其特征在于,包括以下工艺步骤,1)粘料:将若干个方形基片用粘接料粘接形成支料;粘接料为熔化的石蜡和松香的混合物,石蜡和松香的重量配比为0.8‑1:1.7;2)改圆:将支料利用改圆机作改圆处理形成圆形支料;3)化料:将改圆后的支料化料液中化料,化掉粘接料,使构成圆形支料的若干个圆形基片分离;4)清洗:对圆形基片进行清洗并作脱水处理;5)研磨:对步骤4)处理后的圆形基片作研磨处理,研磨用模具包括底模和上模,上模用于固定圆形基片,底模中心固定有转动轴,以该转动轴为圆心在底模上设置同心的内圈、外圈、中间圈,内圈和外圈的屈光度相同,中间圈的屈光度和内圈屈光度不同,在转动轴转动时,圆形基本由上模压在底模上,上模自转同时沿外圈半径方向直线运动,研磨后用草酸溶液浸泡去除研磨过程中残留在表面的金属;6)对步骤5)处理后的圆形基片进行清洗、脱水处理;7)对步骤6)处理后的圆形基片在分频机进行分频,分频完成后作清洗、脱水处理;8)腐蚀:在酸溶液中作腐蚀处理,然后清洗、脱水制成产品。
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