[发明专利]基板涂层有效
申请号: | 201810128110.4 | 申请日: | 2018-02-08 |
公开(公告)号: | CN108437632B | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 杰森·斯韦;科林·伊根;吉耶尔莫·马丁内兹·阿里萨;尤拜·比;约恩·A·克拉布特里;斯蒂芬·W·鲍尔 | 申请(专利权)人: | 惠普赛天使公司 |
主分类号: | B41J2/01 | 分类号: | B41J2/01 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 周丹;王珍仙 |
地址: | 以色列*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种基板涂层。在示例性实施方式中,基板涂层系统包括抗蚀剂打印装置,以将抗蚀剂流体打印到基板表面的所选区域上。该系统包括模拟涂布装置,以将涂层流体施加到整个基板表面上,其中抗蚀剂流体阻止涂层流体施加在基板表面的所选区域上。 | ||
搜索关键词: | 涂层 | ||
【主权项】:
1.一种基板涂层系统,包括:抗蚀剂打印装置,以将抗蚀剂流体打印到基板表面的所选区域上;和模拟涂布装置,以将涂层流体施加到整个基板表面上,其中所述抗蚀剂流体阻止所述涂层流体施加在所述基板表面的所选区域上。
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