[发明专利]太阳能电池吸收层的制备方法和太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池吸收层的制备方法和太阳能电池的制备方法，其中该吸收层的制备方法包括在沉积有背电极的基底上依次溅射铜镓合金层和铟层；将铜铟镓预制膜放入具有第一温度阈的反应腔中，并在反应腔中通入第一载气流量值的硒气氛，使铜铟镓预制膜在第一时长内持续反应；向反应腔内通入第二载气流量值的硒气氛，使铜铟镓预制膜在第二时长内持续反应；在预设的第二温度阈和第三时长内对基底进行退火处理。本发明提供的太阳能电池吸收层的制备方法，通过控制通入的硒气氛的载气流量、反应温度及反应时间，使硒元素可以穿过不饱和In‑Se、Cu‑Se二元相向预制膜底部扩散，避免了镓元素向底部富集的问题。

主权项

1.一种太阳能电池吸收层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在沉积有背电极的基底上依次溅射铜镓合金层和铟层，以形成铜铟镓预制膜；将所述铜铟镓预制膜放入具有预设的第一温度阈的反应腔中，并在所述反应腔中通入预设的第一载气流量值的硒气氛，使所述铜铟镓预制膜在所述第一载气流量值的硒气氛中反应第一预设时长；向所述反应腔内通入预设的第二载气流量值的硒气氛，使所述铜铟镓预制膜在所述第二载气流量值的硒气氛中反应第二预设时长；所述第一载气流量值与所述第二载气流量值的比大于5；在预设的第二温度阈和第三预设时长内对所述基底进行退火处理。