[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物有效
| 申请号： | 201810129150.0 | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108508712B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 白钟旭;崔庆默;洪宪杓;房淳洪 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含无机碱及其盐中的一种以上、单乙醇胺、和具有化学式1的结构的仲乙醇胺。R |
||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含无机碱及其盐中的一种以上、单乙醇胺、和具有化学式1的结构的仲乙醇胺，化学式1![]()
R1为C1～C10的直链或C3～C10的支链脂肪族烃基、含有N的C4～C10的杂环基、C6～C10的芳香族烃基、或C5～C10的环烷基。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东友精细化工有限公司，未经东友精细化工有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810129150.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种正性光刻胶的去除方法
- 下一篇：一种掩模传输预对准装置及方法
