[发明专利]基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法及系统

摘要

本发明提供的基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法及系统，对准分子激光器温度控制进行温度补偿，将Smith预估补偿与PID温度控制相结合构成复合控制，有效减小温度控制的滞后时间和超调量，提高系统的工作稳定性和响应时间。

主权项

1.一种基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统,其特征在于,包括设置在第一腔体中的第一冷却循环水管、设置在第二腔体中的第二冷却循环水管、用于检测所述第一腔体内气体温度的第一温度传感器、用于检测所述第二腔体内气体温度的第二温度传感器、与所述第一冷却循环水管的进水口连通的第一电磁阀、与所述第二冷却循环水管的进水口连通的第二电磁阀、分别与所述第一温度传感器、所述第二温度传感器、所述第一电磁阀以及所述第二电磁阀电连接的控制器，所述控制器采用Smith预估补偿的PID温度控制算法并根据所述第一温度传感器采集的温度数据调整所述第一电磁阀的开度以及根据所述第二温度传感器采集的温度数据调整所述第二电磁阀的开度，所述第一电磁阀的开度用于调整所述第一冷却循环水管的冷却水量，所述第二电磁阀的开度用于调整所述第二冷却循环水管的冷却水量。