[发明专利]用于助熔剂法生长氮化物单晶的承载结构、系统及方法在审
| 申请号： | 201810133833.3 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN110129887A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 刘宗亮;徐科;任国强;王建峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B19/02;C30B19/10 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于助熔剂法生长氮化物单晶的承载结构、系统及方法。所述的承载结构包括籽晶承载体和支撑机构，所述籽晶承载体可升降地设置于助熔剂法生长氮化物单晶的反应容器内，所述籽晶承载体与支撑机构固定连接，所述支撑机构与驱动机构传动连接。较之现有技术，本发明通过设置与氮化物单晶的反应容器配合的、结构简单的承载结构，可以在进行助熔剂法制备氮化物单晶的液相外延生长过程中，方便快捷的调控籽晶的位置，使籽晶外延界面始终处于熔液中合适的过饱和度区域内，从而获得连续生长的高质量液相外延氮化物单晶。 | ||
| 搜索关键词： | 籽晶 承载结构 助熔剂 生长氮化物单晶 氮化物单晶 支撑机构 承载体 液相外延生长 传动连接 过饱和度 可升降地 驱动机构 外延界面 液相外延 熔液 生长 调控 配合 | ||
【主权项】：
1.一种用于助熔剂法生长氮化物单晶的承载结构，其特征在于包括籽晶承载体和支撑机构，所述籽晶承载体可升降地设置于助熔剂法生长氮化物单晶的反应容器内，所述籽晶承载体与支撑机构固定连接，所述支撑机构与驱动机构传动连接。
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