[发明专利]具有离轴防震的MEMS装置有效
| 申请号： | 201810139900.2 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN108423633B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 阿龙·A·盖斯贝格尔;李丰园 | 申请（专利权）人： | 恩智浦美国有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微机电系统(MEMS)装置，例如单轴加速度计，包括悬挂在基板上的可移动质量。所述可移动质量具有第一部分和第二部分。第一弹簧系统使所述可移动质量的所述第一部分与所述可移动质量的所述第二部分互连。第二弹簧系统使所述第一部分与锚定系统互连。所述第一弹簧系统实现所述可移动质量的所述第二部分响应于强加到所述可移动质量上的震动事件力而在与感测方向正交的第一方向上的移动，其中所述第一弹簧系统抑制所述可移动质量的所述第一部分响应于所述震动事件力而在所述第一方向上的移动。然而，所述第一和第二可移动质量响应于加速力而在所述感测方向上一起移动。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 防震 mems 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(MEMS)装置，其特征在于，包括：基板；悬挂在所述基板上的可移动质量，所述可移动质量具有第一部分和第二部分；以及使所述可移动质量的所述第一部分与所述可移动质量的所述第二部分互连的弹簧系统，所述弹簧系统实现所述可移动质量的所述第二部分响应于强加到所述可移动质量的第一力而在与感测方向正交的第一方向上的移动，其中所述弹簧系统抑制所述可移动质量的所述第一部分响应于所述第一力而在所述第一方向上的移动。
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