[发明专利]一种芯片堆叠封装生产线及其生产方法有效
申请号: | 201810141964.6 | 申请日: | 2018-02-11 |
公开(公告)号: | CN108447801B | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 刘尔彬;唐国宝;何勇;刘文锋;杨文发;谭志军;唐国森 | 申请(专利权)人: | 广州瑞松智能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 赖秀芳;曾嘉仪 |
地址: | 510000 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种芯片堆叠封装生产线及其生产方法,包括:生产工位,生产工位包括机器人模块以及与机器人模块相应的装配平台,机器人模块用于拆装治具,以及通过治具对芯片进行堆叠封装,装配平台用于预装堆叠封装所需的材料以及暂存放拆卸下来的治具零件;传送系统,传送系统包括第一传送线以及第二传送线,第一传送线与第二传送线传送方向相反,其中第一传送线用于传送被机器人模块拆卸后剩余的治具零件,第二传送线用于传送被机器人模块安装完整的治具;其中,机器人模块适于抓取所述装配平台上预置的堆叠封装所需的材料配合治具进行堆叠封装。通过本发明的芯片堆叠封装生产线及其生产方法,能达到提升生产效率,节省加工空间的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 堆叠 封装 生产线 及其 生产 方法 | ||
【主权项】:
1.一种芯片堆叠封装生产线,其特征在于,包括:生产工位,所述生产工位包括机器人模块以及与所述机器人模块相应的装配平台,所述机器人模块用于拆装治具,以及通过所述治具对芯片进行堆叠封装,所述装配平台用于预装堆叠封装所需的材料以及暂存放拆卸下来的治具零件;传送系统,所述传送系统包括第一传送线以及第二传送线,所述第一传送线与所述第二传送线传送方向相反,且所述第一传送线的尾端与所述第二传送线的首端相连,其中所述第一传送线用于传送被所述机器人模块拆卸后剩余的治具零件,所述第二传送线用于传送被所述机器人模块安装完整的治具;其中,所述第二传送线上治具在被安装完整的过程中,所述机器人模块适于抓取所述装配平台上预置的堆叠封装所需的材料配合治具进行堆叠封装。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造