[发明专利]微槽群热沉及其制备方法在审
申请号: | 201810143983.2 | 申请日: | 2018-02-11 |
公开(公告)号: | CN108155164A | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 唐瑾晨;胡学功;于樱迎;何雨 | 申请(专利权)人: | 中国科学院工程热物理研究所 |
主分类号: | H01L23/427 | 分类号: | H01L23/427;H01L21/48 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 曹玲柱 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开提供了一种微槽群热沉及其制备方法,所述微槽群热沉包括:微槽群热沉、纳米涂层以及电极,其中,纳米涂层生成于微槽群热沉的表面,与微槽群热沉构成微纳复合结构表面热沉;电极连接高压电源,对微纳复合结构表面热沉上的液体工质施加电场。本公开的微槽群热沉通过表面上亲水性的纳米涂层,强化了液体工质在微槽道内的表面能及粗糙度,改善了表面润湿特性,通过电场作用下的库仑力、介电电泳力和电致收缩力对液体工质施加定向牵引作用,增大液体工质的质量流量,减小热阻,有效提拉液体工质在微槽道内的毛细润湿长度,因而使得热沉发生持续不断的高强度复合相变换热,强化了热沉的换热能力。 | ||
搜索关键词: | 热沉 微槽群 液体工质 纳米涂层 微纳复合结构 微槽道 制备 润湿 施加 介电电泳力 表面润湿 电场作用 电极连接 高压电源 换热能力 质量流量 电场 表面能 粗糙度 复合相 库仑力 亲水性 收缩力 电极 电致 减小 毛细 热阻 提拉 牵引 | ||
【主权项】:
一种微槽群热沉,包括:微槽群热沉(11);纳米涂层(12),其生成于所述微槽群热沉(11)的表面,与所述微槽群热沉(11)构成微纳复合结构表面热沉(10);以及电极(20),其连接高压电源,对所述微纳复合结构表面热沉(10)上的液体工质施加电场。
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