[发明专利]一种石墨烯光电探测器在审
申请号: | 201810145585.4 | 申请日: | 2018-02-12 |
公开(公告)号: | CN108470794A | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 高超;彭蠡;许震;郭燕 | 申请(专利权)人: | 杭州高烯科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/112 | 分类号: | H01L31/112;H01L31/0328 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 黄欢娣;邱启旺 |
地址: | 311113 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种光电探测器,该探测器由硅肖特基结探测电路与自支撑纳米石墨烯光吸收膜共同组成。该自支撑石墨烯膜由众多石墨烯片通过物理交联组成。石墨烯膜厚度很小,并且内部结构完美,仅存在极少的缺陷,因此具有极高的载流子迁移率、透明度以及柔性。 | ||
搜索关键词: | 光电探测器 石墨烯膜 自支撑 载流子迁移率 光吸收膜 纳米石墨 石墨烯片 探测电路 物理交联 肖特基结 石墨烯 探测器 透明度 | ||
【主权项】:
1.一种石墨烯光电探测器,其特征在于,包括硅肖特基结和覆盖于所述硅肖特基结的自支撑石墨烯膜,所述自支撑石墨烯膜通过以下方法得到:(1)将氧化石墨烯配制成浓度为0.5‑10ug/mL氧化石墨烯水溶液,以AAO膜为基底抽滤成膜。(2)将贴附于AAO的氧化石墨烯膜置于密闭容器中,在80‑100℃下从底部往上熏蒸HI蒸汽0.1‑1h。(3)将融化的固体转移剂均匀涂敷在还原氧化石墨烯膜表面,并于室温下自然冷却,直到基底膜自然脱落。(4)将上述得到的固体转移剂支撑的石墨烯膜在固体转移剂挥发的温度下挥发掉固体转移剂,得到独立自支撑的石墨烯膜。(5)将上述独立自支撑石墨烯膜放入3000摄氏度高温炉中处理,修复石墨烯膜结构,去除内部缺陷。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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