[发明专利]一种紫外掩膜版及其制造方法

摘要

本发明公开一种紫外掩膜版及其制造方法，所述紫外掩膜版用于在彩色滤光板胶框固化时遮挡显示区，包括提供一透明基板，采用像素掩膜图案光罩进行三次光刻，其中，每次光刻前在透明基板上涂布光阻膜，三次所述光刻后在透明基板上形成用以覆盖显示区的光阻层。包括分别通过红色像素图案光罩、绿色像素图案光罩、蓝色像素图案光罩对光阻膜进行光刻，以此在透明基板上得到具有设计总图案的光阻层。通过此方法实现节约一道紫外光罩，达到降低成本的目的。

主权项

1.一种紫外掩膜版的制造方法，所述紫外掩膜版用于在彩色滤光板胶框固化时遮挡显示区，其特征在于，所述制造方法包括：在透明基板上涂布光阻剂，用像素掩膜图案光罩对光阻剂进行光刻，生成第一光阻膜；再次在所述透明基板上涂布所述光阻剂，用所述像素掩膜图案光罩对透明光阻剂进行光刻，生成第二光阻膜；再次在所述透明基板上涂布所述光阻剂，用所述像素掩膜图案光罩对所述光阻剂进行光刻，生成第三光阻膜；从而在所述透明基板上生成所述第一光阻膜、所述第二光阻膜、所述第三光阻膜，形成用以覆盖显示区的紫外掩膜版；其中，所述第一光阻膜、所述第二光阻膜、所述第三光阻膜分别对应显示区红色滤光位置、绿色滤光位置、蓝色滤光位置中的一种。