[发明专利]一种柔性单层导电微结构人工耳蜗电极及制作方法

摘要

本发明公开一种柔性单层导电微结构人工耳蜗电极及制作方法，根据耳蜗听神经末端占位分布规律，采用具有生物相容性的绝缘柔性薄膜材料，以制备基底薄膜、沉积粘附层、金属层、剥离薄膜、卷曲塑形、固定封装等步骤，设计制作柔性人工耳蜗电极阵列部件，具体的，在基板上，旋涂柔性生物相容性绝缘材料层；在绝缘材料层上旋涂光刻胶，覆上已设计好的基底掩膜板，并曝光；在显影液中显影曝光后薄膜材料，在适当的温度下进行加热；在上述有光刻胶的一侧使用电子束蒸发沉积或镀一层粘附层；在上述有光刻胶的一侧使用电子束蒸发再沉积或镀一层导电金属层；清洗掉光刻胶，再从硬质基板上将已加工固化的带金属导电结构的柔性薄膜剥离下来；塑形；固定封装。

主权项

1.一种柔性单层导电微结构人工耳蜗电极，其特征在于，包括一个柔性生物相容性绝缘材料层，在所述柔性生物相容性绝缘材料层的上层是导电金属层和粘附层，所述的导电金属层包括电极区、引线区和引脚区；所述的引线区刻蚀有多条引线，所述的电极区刻蚀有多个电极，一个电极连接一条引线，在引脚区有与引线区每条引线一一对应的引脚。