[发明专利]蒸镀设备在审
| 申请号： | 201810148460.7 | 申请日： | 2018-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN108239752A | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 姜亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/04 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀设备，包括：蒸发源，包括壳体；喷嘴，设置于壳体顶部；以及，对称设置的第一限制板和第二限制板，设置于壳体顶部，用于限制喷嘴的蒸镀角；第一限制板内设置有第一转轴，第一转轴连接于第一旋转驱动装置；第二限制板内设置有第二转轴，第二转轴连接于第二旋转驱动装置；第一限制板和第二限制板旋转后分别与壳体表面形成夹角，通过调节夹角角度可改变喷嘴的蒸镀角，以适应限制板内侧因材料沉积导致厚度增加而引起的蒸镀角变化。 | ||
| 搜索关键词： | 限制板 喷嘴 蒸镀 旋转驱动装置 壳体顶部 蒸镀设备 转轴连接 转轴 材料沉积 对称设置 厚度增加 角变化 可改变 蒸发源 壳体 面形 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸发源，包括壳体，以及设置于所述壳体内的蒸发腔室，所述蒸发腔室内设置有蒸镀材料；喷嘴，设置于所述壳体顶部，且连接所述蒸发腔室；以及，限制板组，设置于所述壳体顶部，用于限制所述喷嘴的蒸镀角；所述限制板组包括对称设置的第一限制板和第二限制板，所述喷嘴位于所述第一限制板与所述第二限制板之间；所述第一限制板内设置有第一转轴，所述第一转轴连接于第一旋转驱动装置；所述第二限制板内设置有第二转轴，所述第二转轴连接于第二旋转驱动装置；其中，所述第一限制板和所述第二限制板旋转后分别与所述壳体表面形成夹角，通过调节所述夹角角度可改变所述喷嘴的蒸镀角，以适应限制板内侧因材料沉积导致厚度增加而引起的蒸镀角变化。
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