[发明专利]复衬底及其制造方法有效
| 申请号： | 201810148894.7 | 申请日： | 2018-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN108428674B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | A·罗特 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/15 | 分类号： | H01L23/15;H01L21/48 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 德国瑙伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有脆性断裂板或脆性断裂层(2)的复衬底(1、11、14、18)，所述复衬底形成通过设置在脆性断裂层(2)中的至少一条预定断裂线(4)彼此邻接的至少两个彼此一体邻接的单衬底(3、12、15、19)。与预定断裂线(4)邻接的至少一个缺口(9、13、16、20)被嵌入到脆性断裂层(2)中并完全穿透脆性断裂层(2)，所述缺口将经由预定断裂线(4)彼此邻接的单衬底(3、12、15、19)材料上分离开。本发明还涉及一种用于制造这种复衬底(1、11、14、18)的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有脆性断裂板或脆性断裂层(2)的复衬底，所述复衬底形成通过设置在脆性断裂层(2)中的至少一条预定断裂线(4)彼此邻接的至少两个一体邻接的单衬底(3、12、15、19)，其特征在于：将彼此邻接的单衬底(3、12、15、19)材料上分离开的至少一个缺口(9、13、16、20)与所述预定断裂线(4)邻接，并且嵌入到所述脆性断裂层(2)中，而且完全穿透所述脆性断裂层(2)。
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