[发明专利]一种损伤监测装置及系统在审
| 申请号： | 201810149793.1 | 申请日： | 2018-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN108362771A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 白玉庭 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N27/90 | 分类号： | G01N27/90;G01N29/09 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种损伤监测装置及系统，包括：监测模块、信号处理模块和显示模块；其中，监测模块用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给信号处理模块；信号处理模块用于接收监测模块发送的物理参数，并根据物理参数的变化判断待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；显示模块用于显示信号处理模块处理后的数据及监测结果。通过监测模块、信号处理模块和显示模块的设置，能够对掩膜版进行实时的监测，并对监测数据进行处理将处理后的数据及结果显示给相关监测人员，以便于及时对该损伤处进行处理，避免出现宕机影响生产进程。 | ||
| 搜索关键词： | 信号处理模块 监测模块 物理参数 显示模块 掩膜版 监测 装置及系统 损伤监测 损伤 非接触式监测 变化判断 监测结果 监测数据 接收监测 模块发送 影响生产 宕机 进程 | ||
【主权项】：
1.一种损伤监测装置，其特征在于，包括：监测模块、信号处理模块和显示模块；其中，所述监测模块用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给所述信号处理模块；所述信号处理模块用于接收所述监测模块发送的所述物理参数，并根据所述物理参数的变化判断所述待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；所述显示模块用于显示所述信号处理模块处理后的数据及监测结果。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，未经京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810149793.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
