[发明专利]晶体生长界面电信号采集系统有效
| 申请号： | 201810149832.8 | 申请日： | 2018-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN108468085B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 朱允中;王彪;刘洋 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 吴静芝 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶体生长界面电信号采集系统，包括坩埚、籽晶杆、晶转机构和电信号采集单元；所述晶转机构与外部的炉体绝缘，且包括晶转杆、联轴器、双轴电机和电气滑环；所述晶转杆与籽晶杆电气连接，为空心结构，内部设有导电芯；所述联轴器的下端与导电芯相连；所述双轴电机包括电机支架、电机主轴和电机副轴，所述电机主轴与联轴器的上端相连；所述电气滑环的固定端固定在电机支架上，自由端与电机副轴电气连接；所述电信号采集单元的两端分别与坩埚和电气滑环的固定端电气连接。通过本发明可实现界面相电信号的高速采集和稳定传输。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 界面 电信号 采集 系统 | ||
【主权项】：
1.一种晶体生长界面电信号采集系统，其特征在于：包括坩埚、籽晶杆、晶转机构和电信号采集单元；所述晶转机构与外部的炉体绝缘，且包括晶转杆、联轴器、双轴电机和电气滑环；所述晶转杆与籽晶杆电气连接，为空心结构，内部设有导电芯；所述联轴器的下端与导电芯相连；所述双轴电机包括电机支架、电机主轴和电机副轴，所述电机主轴与联轴器的上端相连；所述电气滑环的固定端固定在电机支架上，自由端与电机副轴电气连接；所述电信号采集单元的两端分别与坩埚和电气滑环的固定端电气连接。
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