[发明专利]曝光装置

摘要

本发明公开了一种曝光装置，包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；光源组件、投影组件和承载台均设置于曝光腔室内；光源组件用于产生曝光光线；投影组件具有透镜、连杆构件、支撑构件以及驱动机构；支撑构件具有安装台，安装台由支撑部件和支承构件构成，第一、第二接收部件附接到支承构件的上端部；支撑部件是在上下方向延伸的棱柱部件，支承构件的下端部形成有向下方突出的锥形部分；支撑部件设置有筒状部，支承构件包括桩、一对条状支承件和一个板状部，形成于支承构件上的条状支承件的下端嵌合于筒状部。本发明能稳固地支撑投影组件中的透镜。

主权项

1.一种曝光装置，其特征在于，所述曝光装置包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；所述光源组件、所述投影组件和所述承载台均设置于所述曝光腔室内；所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件；所述投影组件具有透镜、连杆构件、用于摆动地支撑所述透镜的支撑构件以及用于摆动所述透镜以改变所述透镜的角度的驱动机构；所述支撑构件具有安装台，所述安装台由支撑部件和设置于所述支撑部件的上端部的支承构件构成，第一接收部件、第二接收部件附接到所述支承构件的上端部；所述支撑部件是在上下方向延伸的棱柱部件，所述支承构件的下端部形成有向下方突出的锥形部分；所述支撑部件的上端部的前后方向的两侧面上设置有沿上下方向延伸的中空的筒状部，所述支承构件包括桩、一对条状支承件和一个板状部，形成于所述支承构件上的所述条状支承件的下端嵌合于所述筒状部；所述筒状部构成插入部分，所述插入部分具有供所述条状支承件插入的空间，所述条状支承件的下端部分构成向所述支撑部件突出的突出部。