[发明专利]一种超导相变温度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201810151308.4 | 申请日： | 2018-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN108362726B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 甘海勇;徐楠;赫英威;冯国进;吴厚平;林延东 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01N25/12 | 分类号： | G01N25/12 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种超导相变温度传感器及其制备方法，其中所述传感器包括：依次镀在基板上的第一层薄膜和第二层薄膜；第一层薄膜为超导材料；第二层薄膜的宽度与第一层薄膜的宽度的比值沿所述第一层薄膜的长度方向逐渐变化；所述第一层薄膜的厚度与所述第二层薄膜的厚度之和为0.2‑200nm。在所述第二层薄膜的宽度与所述第一层薄膜的宽度的比值的最大处的超导相变温度为第一温度，在所述第二层薄膜的宽度与所述第一层薄膜的宽度的比值的最小处的超导相变温度为第二温度，超导相变温度传感器的最佳工作范围为所述第一温度至所述第二温度。本发明提供的超导相变温度传感器具有较宽的工作范围，使得超导相变温度传感器的适用范围更广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超导 相变 温度传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超导相变温度传感器，其特征在于，包括：依次镀在基板上的第一层薄膜和第二层薄膜；所述第一层薄膜为超导材料；所述第二层薄膜的宽度与所述第一层薄膜的宽度的比值沿所述第一层薄膜的长度方向逐渐变化；所述第一层薄膜的厚度与所述第二层薄膜的厚度之和为0.2‑200nm。
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