[发明专利]硅片清洗剂及硅片清洗方法在审
| 申请号： | 201810151790.1 | 申请日： | 2018-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN108300583A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 申世峰 | 申请（专利权）人： | 常州协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/72 | 分类号： | C11D1/72;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/33;C11D3/37;C11D1/14;C11D3/60;C11D11/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 213022 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片清洗剂及硅片清洗方法。该硅片清洗剂，含有螯合剂、活性剂、可溶性碱、醇类添加剂、消泡剂、基材湿润剂、抗氧化剂和去离子水。该硅片清洗方法是将待清洗的硅片依次经纯水漂洗、药剂清洗、纯水漂洗、超声漂洗、提拉烘干，得到表面洁净的硅片。上述硅片清洗剂及硅片清洗方法，能够降低硅片崩边、隐裂、脏污的比例，清洗后不出现黑边，硅片在清洗过程中不容易被氧化。同时，上述硅片清洗剂及硅片清洗方法还能够降低万片清洗剂的使用量，改善脱胶清洗员工的作业环境，提高硅片清洗速度。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片清洗 硅片清洗剂 硅片 清洗 纯水漂洗 清洗剂 醇类添加剂 基材湿润剂 表面洁净 超声漂洗 抗氧化剂 可溶性碱 清洗过程 去离子水 药剂清洗 作业环境 活性剂 消泡剂 螯合剂 崩边 黑边 烘干 提拉 脱胶 隐裂 脏污 员工 | ||
【主权项】：
1.一种硅片清洗剂，其特征在于，包含如下质量百分比的组分：螯合剂 5％‑8％活性剂 0.5％‑1％可溶性碱 20％‑25％醇类添加剂 1％‑2％消泡剂 0％‑2％基材湿润剂 0.5％‑1％抗氧化剂 1％‑2％，去离子水 59.4％‑72％。
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