[发明专利]基板清洗设备以及基板清洗方法

摘要

本发明公开了一种基板清洗设备以及基板清洗方法，该基板清洗设备包含有一机座、一传输装置、一湿式清洁组及一干式清洁组，其中湿式清洁组与干式清洁组分别具有连续性无尘布条，利用传输装置夹掣与移动一基板，令基板可相对湿式清洁组与干式清洁组的擦拭组，供分别以无尘布条进行基板表面的喷湿擦拭及擦拭，从而能迅速且有效的去除表面附着的污染物，另外，本发明可进行两阶段清洁，其能在喷湿清洁后擦干水分，因此不会残留清洁水痕，有助于提升清洁质量。

主权项

1.一种基板清洗设备，用以清洁一基板，上述基板包含有至少一待清洗表面，其特征在于，该基板清洗设备包含有：一机座；一传输装置，其设于机座上，该传输装置具有一可移动的夹持机构，该夹持机构能够夹掣上述基板，使得该基板待清洗表面完全露出；一湿式清洁组，其设于机座上，该湿式清洁组包含有一具连续无尘布条的擦拭组及一给水泵浦，该擦拭组具有一控制无尘布条接触上述基板待清洗表面的触抵元件，且给水泵浦通过无尘布条接触基板区域向触抵元件提供清洁液，以使基板与触抵元件相对移动，供进行喷湿擦拭以去除污染物；一干式清洁组，其设于机座上，该干式清洁组包含有一具连续无尘布条的擦拭组，该擦拭组具有一控制无尘布条接触上述基板待清洗表面的触抵元件，以使基板与触抵元件相对移动，供进行擦拭以去除污染物及水痕。