[发明专利]物体表面平整度快速测量方法

摘要

本发明物体表面平整度快速测量方法属于工业、生产、机械、光学、检测、测试等技术领域。该方法首先调整被测物件，然后设定图像传感器的准焦成像时间、离焦成像时间、非成像时间和第一阈值和第二阈值，再对运动块的位置和动作时间进行调整，接着转动电机，使电机完成N周转动，图像传感器得到(k+1)×N个图像数据，写成矩阵形式，从矩阵中的非第一行找出图像数据最大值和图像数据最小值，并判断噪声是否满足检测环境要求；最后在噪声满足检测环境要求的情况下，对被测物件上表面平整度进行评价；本发明不仅能够对物体表面平整度进行定性检测，而且操作过程简单，操作方法容易，而且能够对噪声进行滤除或监测，检测结果准确。

主权项

1.物体表面平整度快速测量装置方法，其在于，包括以下步骤：步骤a、调整被测物件(1‑6)，使所述被测物件(1‑6)上表面的某一位置位于所述物镜(1‑4)的焦点位置，且要求限位凸起(2‑9)位于运动块(2‑3)中的劣弧通槽中的最低点，限位凸起(2‑9)位于其运动轨迹的最高点；步骤b、设定图像传感器(1‑9)的准焦成像时间t1、离焦成像时间t2、非成像时间t3和第一阈值t1'和第二阈值t2'，其中，L为所述运动块(2‑3)中的劣弧通槽长度，ω为所述电机(2‑6)的旋转角速度，r为所述运动块(2‑3)中的劣弧通槽的半径，k为次数，π为圆周率；步骤c、调整限位凸起(2‑9)位于运动块(2‑3)中的劣弧通槽中的最低点，限位凸起(2‑9)位于其运动轨迹的最高点的时刻与图像传感器(1‑9)的准焦成像时间t1的中间时刻重合；且图像传感器(1‑9)的连续k次离焦成像时间t2与所述限位凸起(2‑9)位于运动块(2‑3)中的劣弧通槽中且运动块(2‑3)静止的时间重合；步骤d、转动电机(2‑6)，使电机(2‑6)完成N周转动，在准焦成像时间t1和离焦成像时间t2，所述二维平移台(1‑5)静止，在非成像时间t3，在二维平移台(1‑5)在水平面内运动；图像传感器(1‑9)得到(k+1)×N个图像数据，写成矩阵形式为：每一列为电机(2‑6)一个转动周期得到的图像数据；第一行为每个转动周期中准焦成像时间t1下的图像数据；步骤e、从以下矩阵中找出图像数据最大值fig1max和图像数据最小值fig1min；步骤f、如果：噪声不满足检测环境要求，改善测量环境，重新获取数据；噪声满足检测环境要求，进入下一步；步骤g、从以下矩阵中找出图像数据最大值fig2max和图像数据最小值fig2min；(fig1,1 fig1,2 … fig1,N)步骤h、如果：被测物件(1‑6)上表面平整度不满足要求；被测物件(1‑6)上表面平整度不满足要求。