[发明专利]固体摄像装置、固体摄像装置的制造方法以及电子设备

摘要

提供一种固体摄像装置、固体摄像装置的制造方法以及电子设备。嵌入型光电二极管具有：基板，具有被照射光的第1基板面侧和与第1基板面侧对置的一侧的第2基板面侧(前面侧)；光电变换部，包括嵌入于基板而形成的第1导电型半导体层，且具有对所接收的光的光电变换功能及电荷蓄积功能；第2导电型分离层，形成在光电变换部的第1导电型半导体层的侧部；和一个电荷传输栅极部，能传输蓄积在光电变换部中的电荷，光电变换部在第1导电型半导体层的至少一部分包括：至少一个第2导电型半导体层，其在与基板的法线正交的方向上形成至少一个子区域，且与第1导电型半导体层具有结电容成分。由此，能增加蓄积电容，且能实现噪声降低、高灵敏度化。

主权项

1.一种固体摄像装置，具有：基板，具有第1基板面侧和与该第1基板面侧对置的一侧的第2基板面侧；光电变换部，包括嵌入于所述基板而形成的第1导电型半导体层，且具有对所接收的光的光电变换功能以及电荷蓄积功能；第2导电型分离层，形成在所述光电变换部的所述第1导电型半导体层的侧部；和一个电荷传输栅极部，能够传输蓄积在所述光电变换部中的电荷，所述光电变换部在所述第1导电型半导体层的至少一部分包括：至少一个第2导电型半导体层，其在与所述基板的法线正交的方向上形成至少一个子区域，且与所述第1导电型半导体层具有结电容成分，所述一个电荷传输栅极部能够传输蓄积在所述光电变换部的所述子区域中的电荷。