[发明专利]一种新型不锈钢环与塑料环粘接工艺方法

摘要

本发明涉及一种新型不锈钢环与塑料环粘接工艺方法，该方法包括如下步骤：(1)不锈钢件与塑料件的前处理；(2)将塑料件放置于专用工装上；(3)涂抹专用胶水；(4)将不锈钢件置于塑料件上并均匀按压和扭动；(5)放置专用工装于不锈钢件上方；(6)固化。本发明的工艺方法实现了不锈钢与塑料高强度的结合，使得整体在高速运转的使用过程中不会分离。这一特性对于半导体晶圆的平坦化制程十分重要。

主权项

1.一种新型不锈钢环与塑料环粘接工艺方法，其特征在于，具体步骤如下：(1)不锈钢环前处理：使用异丙醇对不锈钢表面进行清洗，然后使用胶带将非粘接面遮蔽，露出与塑料表面粘接的部分；使用100#白刚玉，对粘接面进行喷砂处理，喷砂压力60‑80PSI，角度45°‑55°，喷嘴距离工件10‑15cm，移动速度2‑3cm/s，所得面粗度：50‑80μin；去除遮蔽胶带，将不锈钢件置于超声波清洗槽中，清洗30s，去除表面附着的多余的砂砾，用清水洗净，置于烘箱中，烘烤30min，烤箱温度110‑125℃；(2)塑料环前处理：使用异丙醇对塑料环表面进行清洗，然后使用胶带将非粘接面遮蔽，露出与不锈钢表面粘接的部分；使用80#石榴石，对粘接面进行喷砂处理，喷砂压力60‑80PSI，角度45°‑55°，喷嘴距离工件10‑15cm，移动速度2‑3cm/s,所得面粗度：50‑80μin；去除遮蔽胶带，将塑料件置于超声波清洗槽中，清洗30s，去除表面附着的多余的砂砾，然后用清水洗净，气枪吹干；(3)塑料环置于工装上：用异丙醇将工装表面擦净；将经过前处理的塑料件置于工装上；工装具有定位的作用，保证塑料环位于下陷台里面；(4)涂胶：使用胶枪将环氧胶按照蛇形均匀挤在塑料件的表面；用塑料刮板将环氧胶涂抹均匀，并确认表面无气孔及结块；(5)不锈钢环与塑料环固定：将不锈钢环放置于塑料环上对齐；然后反复地以5～10°的角度旋转并按压治具顶部，直到不锈钢环固定在塑料环上为止；检查环氧胶是否沿着定位环圆周均匀地挤出，如果不均匀，则需要清除掉所有环氧胶并重复上述步骤；(6)固化：将每一组粘好的不锈钢环和塑料环放置于平台之上，固化时，最多将10个带有夹具的固定环堆积在一起，并在顶部治具上放置25kg的重物，常温固化120小时；120小时后可以移除治具，进行结合力检测。