[发明专利]c向蓝宝石晶棒r向的确定及导向边的加工方法在审

专利信息
申请号: 201810157668.5 申请日: 2018-02-24
公开(公告)号: CN108381796A 公开(公告)日: 2018-08-10
发明(设计)人: 左洪波;杨鑫宏;李铁;阎哲华 申请(专利权)人: 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D7/00;G01N23/207
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 150001 黑龙江*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 发明涉及一种c向蓝宝石晶棒r向的确定及导向边的加工方法。首先调节XRD衍射仪角度,将晶棒放置在辅助装置上,旋转晶棒确定一个a向并在左侧的三角标记板上标记。调节XRD衍射仪的入射角度及接收器角度到特定值,旋转晶棒确定出r向。最后根据a向导向边对r向的特殊要求确定导向边进行加工。本发明在一台XRD衍射仪通过旋转晶棒分别确定a向和r向,定向精度高,导向边一致性好,操作简便,节省人力,提高效率。
搜索关键词: 导向边 晶棒 蓝宝石晶棒 加工 辅助装置 三角标记 一致性好 接收器 入射角 衍射
【主权项】:
1.一种c向蓝宝石晶棒r向的确定及导向边的加工方法,其特征在于具体工艺过程包括:首先将辅助装置设置在XRD衍射仪样品台测量板的后面,旋转晶棒确定一个a向面并在左侧的三角标记板上标记,调节XRD衍射仪的入射角度及接收器角度到特定值,旋转晶棒至电流表指针偏转时,该面即为r向,最后根据a向导向边对r向的特殊要求确定导向边进行平磨加工。
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