[发明专利]一种带真空机械臂的磁控溅射光学镀膜设备及镀膜方法

摘要

本发明公开了一种带真空机械臂的磁控溅射光学镀膜设备和镀膜方法，该设备包括真空镀膜室、真空机械臂室、磁控溅射靶组件、立式旋转鼓，在真空镀膜室侧壁上设置有与真空机械臂室连接的接口。立式旋转鼓绕垂直轴线旋转，其中心设置有密封箱。多组磁控溅射靶设置在立式旋转鼓外围的真空镀膜室侧壁上。真空机械臂室内设置有真空机械臂，在真空状态下水平和竖直移动。镀膜方法包括对镀膜设备抽真空，转动立式旋转鼓达到设定的转速，启动射频离子源，按工艺要求交替镀制两种材料的膜层，还包括采用真空机械臂将装有基片的基板装卡到立式旋转鼓上以及将镀膜后的基板从立式旋转鼓上取下。

主权项

1.一种带真空机械臂的磁控溅射光学镀膜设备，包含真空镀膜室、真空机械臂室、磁控溅射靶组件、立式旋转鼓，其特征在于：真空镀膜室为立式圆筒形结构，上下两端设置有上盖板和下盖板，侧面有侧开门，在立式圆筒形的侧壁上设置有与真空机械臂室连接的接口；立式旋转鼓位于真空镀膜室内，绕垂直轴线旋转，立式旋转鼓中心设置有密封箱，密封箱的上部连接有旋转轴，旋转轴通过轴承支撑在真空镀膜室的上盖板上，密封箱内的气氛与真空镀膜室隔离；磁控溅射靶组件设置在立式旋转鼓外围的真空镀膜室的侧壁上，磁控溅射靶组件为2组以上；真空机械臂室设置有真空机组，用于对真空机械臂室抽真空，在真空镀膜室和真空机械臂室的连接处设置有真空隔离阀门，在真空机械臂室内设置有真空机械臂，真空机械臂在真空状态下水平和竖直移动，用于将装有基片的基板装卡到立式旋转鼓上以及将镀膜后的基板从立式旋转鼓上取下放到基板架上；真空机械臂包含基板车、基板车移动装置、基板车水平驱动机构、基板车竖直驱动机构；基板车安装在基板车移动装置的水平导轨上，在基板车水平驱动机构的驱动下沿着水平导轨移动，实现基板车在真空机械臂室和真空镀膜室之间往复运动；真空机械臂室内设置有竖直导向柱，基板车移动装置安装在竖直导向柱上，在基板车竖直驱动机构驱动下沿竖直导向柱竖直往复运动；基板车水平驱动机构和基板车竖直驱动机构的动力装置都设置在真空机械臂室外。