[发明专利]压电元件以及压电元件应用装置有效
| 申请号： | 201810159615.7 | 申请日： | 2018-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN108656749B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 北田和也;角浩二;酒井朋裕;高桥敏明;浅川勉 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;H01L41/083;H01L41/18 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;张放 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种具有由向(100)面结晶取向的KNN构成的压电体层的压电元件以及压电元件应用装置。压电元件具有：基板；第一电极，其被形成在基板上；压电体层，其被形成在第一电极上，且为包含钾、钠、以及铌的多个压电体膜层叠而成的层叠体；第二电极，其被形成在压电体层上，压电体层中的钠浓度在多个压电体膜中的第一压电体膜的第一电极的附近处具有作为钠浓度的极大值的Na极大值，且从Na极大值起越靠近第二电极则越向钠浓度减少的方向倾斜，并且在第一压电体膜与被形成在其正上方的第二压电体膜的边界的附近处具有作为钠浓度的极小值的Na极小值。 | ||
| 搜索关键词： | 压电体膜 压电元件 压电体层 第一电极 第二电极 应用装置 基板 结晶取向 浓度减少 层叠体 | ||
【主权项】：
1.一种压电元件，其特征在于，具有：基板；第一电极，其被形成在所述基板上；压电体层，其被形成在所述第一电极上，且为包含钾、钠、以及铌的多个压电体膜层叠而成的层叠体；第二电极，其被形成在所述压电体层上，所述压电体层中的钠浓度在所述多个压电体膜中的第一压电体膜的所述第一电极的附近处具有作为所述钠浓度的极大值的Na极大值，且从所述Na极大值起越靠近所述第二电极则越向所述钠浓度减少的方向变化，并且在所述第一压电体膜与被形成于所述第一压电体膜正上方的第二压电体膜的边界附近处具有作为所述钠浓度的极小值的Na极小值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810159615.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
