[发明专利]飞秒激光预解离装置及化学气相沉积设备

摘要

本发明涉及化学气相沉积技术领域，提供了一种飞秒激光预解离装置，包括飞秒激光解离模块以及高激发态的里德堡原子检测模块，所述飞秒激光解离模块与所述高激发态的里德堡原子检测模块通过第一管道连通，所述第一管道安设有阀门。还提供一种化学气相沉积设备，包括反应气体供给源、反应腔以及上述的一种飞秒激光预解离装置。本发明通过飞秒激光解离模块预先将反应气体催化解离，使之在进入反应腔前就解离为CH₂或CH，可极大提高生产效率且减少对空气的污染，同时通过高激发态的里德堡原子检测模块分析H₂、CH₃、CH₂或CH等气体的成分，并将其反馈至飞秒激光解离模块，供飞秒激光解离模块实时调整优化功率密度和时域分布，可更好地控制催化反应的进程。

主权项

1.一种飞秒激光预解离装置，其特征在于：包括飞秒激光解离模块以及高激发态的里德堡原子检测模块，所述飞秒激光解离模块，用于对反应气体进行催化解离；所述飞秒激光解离模块包括飞秒激光器以及第二管道，所述第二管道内壁为反射面；所述飞秒激光器，用于发射飞秒激光，催化反应气体；所述第二管道，供所述飞秒激光在其内部进行多次反射；所述第二管道与所述第一管道连通；所述高激发态的里德堡原子检测模块，用于分析催化产物并将分析结果反馈至所述飞秒激光解离模块；所述高激发态的里德堡原子检测模块包括离子吸收电极板、高压正极电极板、零伏电极板以及四极质谱仪；所述离子吸收电极板，用于回收反应过程中产生的正离子；所述高压正极电极板和所述零伏电极板，用于将反应气体电离；所述四极质谱仪，用于分析反应气体的成分；所述飞秒激光解离模块与所述高激发态的里德堡原子检测模块通过第一管道连通，所述第一管道安设有阀门。