[发明专利]一种晶圆测试参数设置方法

摘要

本发明涉及一种晶圆测试参数设置方法，不需要人工设置探针台配置文件。同一产品，得到客户提供的批号、片号、相应目标坐标信息和管芯参数要求后，探针台取得当前机台内的晶圆相应批号、片号和坐标信息，测试机按照输入信息参照目标坐标进行相应管芯的自动测试扫描，并对失效管芯进行周围位置管芯补测，自动测试的同时对失效进行验证和数据补充。保证测试数据的正确性，测试灵活并且适应各种客户要求，避免人工设定造成的误操作，有效地提高测试效率和质量。

主权项

1.一种晶圆测试参数设置方法，其特征在于，具体包括如下步骤：1）同一产品，得到客户提供的批号、片号、相应目标坐标信息和管芯参数要求后，选定一片先进行预测，探针台取得当前机台内的晶圆相应批号、片号、坐标信息，按照输入信息参照目标坐标进行相应管芯的测试扫描；2）测试扫描时，每个目标坐标的管芯扫描后，将数据与管芯参数要求进行对比，如数据在管芯参数要求中，进行下一个目标坐标的扫描；如数据不在管芯参数要求中，此目标坐标管芯标识为不合格，为了避免是因为个别样品的单独失效或测试机造成，对不合格目标管芯周围坐标的管芯进行补测，如补测位置管芯数据均在管芯参数要求中，则记录补测位置数据，便于给客户参考；如补测位置管芯数据有不合格的，则对目标坐标管芯其余临近位置进行补测，再次补测全合格，则数据保留，进行下一目标坐标管芯测试，如再次补测还没有全合格，进行测试故障确认及排除；3）所有目标坐标管芯测试后，进入第二片测试，重复步骤2），直到设定的抽样测试全部完成；4）抽样测试达到测试合格率，按客户要求自动生成测试文件，如合格率不达标，则将测试数据送客户确认，客户根据数据调整目标坐标信息后，给出最终测试文件。