[发明专利]柔性基板及其制作方法在审
| 申请号： | 201810161890.2 | 申请日： | 2018-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN108385078A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 邵源 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/20;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 518006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种柔性基板及其制作方法，该制作方法包括：将柔性衬底卷绕到旋转装置上；控制柔性衬底旋转；将金属粒子沉积到柔性衬底的表面；金属粒子在柔性衬底表面形成金属膜。通过以上方法，使金属粒子在柔性衬底卷曲状态下沉积成膜，以吸收柔性基板平展后或者更加卷曲时金属膜自身的硬度带来的应力，保护金属膜不发生断裂现象，而且形成的金属膜也因为金属粒子的旋转沉积而薄厚均匀，避免了厚度不均造成的柔性衬底翘曲的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 金属粒子 金属膜 柔性基板 衬底 沉积 制作 衬底表面 衬底翘曲 衬底旋转 断裂现象 厚度不均 卷曲状态 旋转装置 卷曲 成膜 卷绕 平展 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种柔性基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：将柔性衬底卷绕到旋转装置上；控制所述柔性衬底旋转；将金属粒子沉积到所述柔性衬底的表面；及所述金属粒子在所述柔性衬底表面形成金属膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810161890.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
