[发明专利]一种升降式硅片清洗辅助装置及其清洗方法

摘要

本发明公开了一种升降式硅片清洗辅助装置，该装置包括箱体，在箱体内部设有升降装置，在所述箱体的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架，所述升降装置包括驱动电机、丝杆、连接杆、连接套筒，所述驱动电机设置在箱体的底端面上，所述驱动电机通过齿轮驱动丝杆旋转，在所述丝杆的下部设有限位槽，在所述限位槽中设有与限位槽相匹配的限位块，在所述丝杆上设有螺母，所述螺母的内螺纹与丝杆之间螺纹连接，本发明通过丝杆的设计，实现当丝杆在电机驱动下转动的时候，螺母带着连接套筒和连接杆沿着丝杆轴向方向上升或下降，从而带动硅片承载花篮上下运动，从而实现待清洗硅片不断的在清洗槽中上下运动，提高硅片的清洗质量和清洗效率。

主权项

1.一种升降式硅片清洗辅助装置，其特征在于，该装置包括箱体（1），在所述箱体（1）内部设有升降装置，在所述箱体（1）的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架，所述升降装置包括驱动电机（3）、丝杆（4）、连接杆（5）、连接套筒（6），所述驱动电机（3）设置在箱体（1）的底端面上，所述驱动电机（3）通过齿轮驱动丝杆（4）旋转，在所述丝杆（4）的下部设有限位槽（7），在所述限位槽（7）中设有与限位槽（7）相匹配的限位块（8），在所述丝杆（4）上设有螺母（9），所述螺母（9）的内螺纹与丝杆（4）之间螺纹连接，所述螺母（9）位于限位槽（7）的上方，所述螺母（9）与连接套筒（6）固定连接，所述连接杆（5）设置在连接套筒（6）内部，所述连接杆（5）与连接套筒（6）之间固定连接，在所述连接套筒（6）上设有延伸板（10），在所述延伸板（10）上设有滑块固定孔（11），在延伸板（10）上通过滑块固定孔（11）固定有滑块（12），所述滑块（12）与设置在箱体（1）内部的滑轨（2）相匹配；所述连接杆（5）的上端伸出箱体（1）的上端部与调整架（13）的一端相连，所述调整架（13）通过连接板（14）固定在连接杆（5）的顶端，所述调整架（13）的另一端设有连接轴（15），所述硅片承载花篮的支架包括连接板（16）和承载底板（17），在所述连接板（16）的背面设有固定套筒（18），固定套筒（18）套设并固定在连接轴（15）上，所述承载底板（17）上设有漏水孔（19）和凹槽，所述承载底板（17）上放置有硅片承载花篮（20），在所述硅片承载花篮（20）底部设有凸块，所述凸块和凹槽相互配合将硅片承载花篮（20）嵌设在承载底板（17）上。