[发明专利]一种电子烟雾化芯片的制备方法在审
| 申请号： | 201810165484.3 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN108477675A | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 李廷华;李寿波;朱东来;韩熠;陈永宽;吴俊;张霞;巩效伟;洪鎏 | 申请（专利权）人： | 云南中烟工业有限责任公司 |
| 主分类号： | A24F47/00 | 分类号： | A24F47/00 |
| 代理公司： | 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 | 代理人： | 杨兵 |
| 地址： | 650231 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开一种电子烟雾化芯片的制备方法，包括以下步骤：①在压电基底上旋涂负性光刻胶(5)；②将掩膜板覆盖于压电基底上，进行曝光处理；③除去受光照射部分的负性光刻胶；④镀覆金属薄膜；⑤将未被光照射部分的负性光刻胶除去，得到叉指换能器；⑥将叉指换能器(2)与压电基底(1)电连接，并增设信号接口(3)，即得到所述的电子烟雾化芯片。本发明的电子烟雾化芯片具有安全健康隐患小、感官品质一致性好、气溶胶产生连续稳定且其粒径小而均匀、可雾化高粘度烟油等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 烟雾化 负性光刻胶 芯片 基底 压电 叉指换能器 制备 安全健康 镀覆金属 感官品质 曝光处理 信号接口 一致性好 电连接 高粘度 光照射 气溶胶 掩膜板 粒径 上旋 受光 雾化 烟油 薄膜 照射 增设 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种电子烟雾化芯片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：①在压电基底(1)上均匀旋涂一层负性光刻胶(5)，并将涂胶后的压电基底放置于80～90℃条件下烘焙3～5分钟；所述压电基底(1)为片状，所述压电基底(1)为压电单晶片、压电陶瓷片、压电聚合物片或压电复合物片中的一种；②将预置有叉指换能器图样的掩膜板(6)覆盖在步骤①处理后的压电基底上，采用波长为200～450nm的紫外光照射所述掩膜板(6)进行曝光处理；③除去步骤②受光照射部分的负性光刻胶，然后放置于130～200℃条件下烘焙25～30分钟；④在步骤③处理后的压电基底上镀覆金属薄膜(7)，所述金属薄膜(7)为金、银、铜或铝薄膜中的一种；⑤清洗步骤④处理后的压电基底，将未被光照射部分的负性光刻胶(51)及附着其上的金属薄膜除去，得到叉指换能器(2)；所得到的叉指换能器(2)为双手手指交叉状的多对条，条与条之间有间隔；⑥将步骤⑤的叉指换能器(2)与压电基底(1)电连接，并在所述压电基底(1)外侧增设信号接口(3)，即得到所述的电子烟雾化芯片。
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